Высокотем температура специальной трубки эффект, альпийской трубки и высокой эффективности трубки принять три цели, двойной цели, и одноцелего магнетрона распыления процесса соответственно;
Обычные трубки обычно принимают одноцелевый процесс распыления магнетрона.
